Beschichtungsanlagen
Beschichtungsanlagen von PT&B SILCOR
Die bei PT&B SILCOR eingesetzten Beschichtungsanlagen sind allesamt das Resultat eigener Entwicklung und werden im Hause gefertigt. Die Fertigung umfasst hierbei den Zukauf diverser Komponenten renommierter Hersteller aus der Vakuum- und Elektrotechnik. Die Beherrschung und Steuerung der komplexen Abläufe bei einer Plasma-Vakuumbeschichtung erfordert eine sorgfältige Auswahl und eine detaillierte Kenntnis dieser einzelnen Komponenten. Die wesentlichen Bestandteile der Anlagen - Sputter-Magnetrons und Plasmaquellen - sind ebenfalls Eigenentwicklungen und werden in unserem Hause gefertigt. Mit der Montage wird eine SPS-Steuerung Steuerung implementiert, die alle gewünschten Rezepturen für Beschichtungen umfasst. Damit bekommen die Kunden die gleichen Schichten, wie sie in unserer Lohnbeschichtung angeboten werden. PT&B bietet folgende Beschichtungsanlagen an:
Sputter-Beschichtungsanlagen
Die Beschichtung mittels Sputtern ist ein spezielles PVD-Verfahren, wobei sogenannte Magnetronquellen zum Einsatz kommen. Mithilfe der Magnetrons können alle Metalle abgeschieden werden, die in Form von Tafeln (Bleche oder gesintertes Material) vorliegen. Durch Zugabe von Sauerstoff oder Stickstoff lassen sich auch Metallnitride oder Oxide herstellen. Die Sputteranlagen sind auch als kombinierte Anlagen für die Plasma-CVD verfügbar, um zusätzlich eine Beschichtung mit z. B. DLC vornehmen zu können. Die Standard-Anlage ist die Sputter-Beschichtungsanlage STARON 80-100. Auf Kundenwunsch sind sowohl kleinere als auch größere Sputter-Beschichtungsanlagen lieferbar.
Beschichtungsanlagen für die Plasma-CVD
Kennzeichnend für die Plasma-CVD ist die Abscheidung von dünnen Schichten aus Gasen (hier: Kohlenwasserstoffe, Silane, Sauerstoff) bei geringen Temperaturen. Wir bieten die STARON 100-120 als typisierte PCVD-Beschichtungsanlage an. Mit dieser Anlage werden in unserem Hause Lohnbeschichtungen mit DLC, Siliciumcarbid oder Sliciumoxid durchgeführt. Das entsprechende Know-how wird mit dem Kauf der Beschichtungsanlage natürlich zur Verfügung gestellt.
Sonderanlagen
PT&B SILCOR bietet auch die Fertigung von Sputter- und PCVD-Beschichtungsanlagen, die wesentlich größer oder kleiner als die oben beschriebenen sind, an. Wichtigstes Kriterium für den Anlagenbau ist die optimale, kostengünstige Beschichtung für die jeweiligen Bauteile. Das können flache Substrate wie Gläser oder zylinderförmige Substrate aus Metall sein. Andere von PT&B gefertigte Anlagen sind für die Behandlung von Werkstoffen in thermischen Plasmen oder als Ultrahochvakuum-Bedampfungsanlage im Einsatz.