Die Eigenschaften des DLC mit Silicium modifizieren

Dem Einsatz von DLC Beschichtungen sind physikalische Grenzen gesetzt, die nur durch die Legierung mit Silicium überwunden werden können. Wesentliche Parameter, eine Silicium-Kohlenstoff Schicht anstelle des DLC einzusetzen sind beispielsweise:

• Eine höhere thermische Stabilität - bis 500 Grad Celsius Einsatztemperatur
• Eine verbesserte optische Transparenz im gesamten sichtbaren Spektrum (abhängig von der Dicke!)
• Chemische Beständigkeit auch gegen Sauerstoff-haltige Radikale
• Ein stabiler geringer Reibkoeffizient auch in feuchter Umgebung und selbst in wässrigen Lösungen
• Gute elektrische Isolation durch hohen spezifischen Widerstand
• Erforderliche Schichtdicken von mehr als 3µm (maximal 50µm)

Je nach Art und Betrag der bei der PCVD eingekoppelten Energie erfolgt die Beschichtung im Bereich von 50 bis 400 Grad Celsius. Prinzipiell gilt, dass höhere Temperaturen (bei ansonsten identischen Parametern) zu härteren Schichten mit einem geringeren Gehalt an Wasserstoff führen. Die SilCor® SiC Schichten eignen sich auch für die Innenbeschichtung von Bohrungen und Rohren, wobei das maximale Aspektverhältnis vom absoluten Durchmesser abhängt.